KAYDON晶圓步進機專用薄壁軸承
半導體制造
Kaydon 擁有工程專業(yè)知識，可以為硅芯片制造過程的每個步驟開發(fā)精密軸承解決方案。從機器人到機械拋光機再到光刻設備，Kaydon Reali-Slim® 薄截面軸承為更小、更輕、更簡單的旋轉(zhuǎn)設備提供了節(jié)省空間的設計。
我們廣泛選擇的 Reali-Slim® 軸承可以定制和優(yōu)化，以**限度地減少摩擦、排氣、污染、腐蝕甚至磨損，而不會犧牲精度。特殊的可選材料和潤滑劑可允許工作溫度高于 250°C、真空度為 10 -8到 10 -12 Torr、**小化顆粒生成以及對腐蝕性化學環(huán)境的耐受性。混合軸承可以改善扭矩特性并延長邊緣潤滑應用的使用壽命。
Kaydon Super Duplex 軸承組件是高速、平穩(wěn)扭矩應用的理想解決方案。超級雙相軸承具有一個共同的滾道，兩個軸承路徑同時研磨并一起“跳動”。這種獨特的設計有助于消除由軸向跳動變化引起的潛在附加扭矩。Kaydon 盒式軸承組件使這種設計更進一步，具有單個外滾道和單個內(nèi)滾道，以提供****的扭矩性能。與 Super Duplex 一樣，這種設計消除了在使用成對的角接觸軸承時可能導致的潛在對齊和定向安裝錯誤。
可以在不增加軸承空間要求的情況下添加護罩或密封件。密封件通常用于大氣環(huán)境，而屏蔽件則適用于真空和其他超潔凈環(huán)境。因為防護罩沒有完全接觸內(nèi)圈，所以沒有扭矩損失或顆粒產(chǎn)生。
Reali-Slim® 薄壁軸承
超級雙相軸承組件
盒式軸承組件
定制軸承
應用
檢測設備
晶圓探針
濺射設備
晶圓傳送系統(tǒng)
點膠
拾取和放置機器人
測量系統(tǒng)
測試頭
定位器
切割設備
研磨設備
真空沉積系統(tǒng)
晶圓步進機
探測站
武器
晶圓修整器
晶圓洗滌器
晶圓拋光機
薄膜沉積系統(tǒng)
CVD系統(tǒng)
蝕刻系統(tǒng)
機械拋光機
大氣和真空轉(zhuǎn)移
機器人
測試頭
機械手
兆聲波清洗系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)干燥機
光刻
機械拋光機
貼片機
